Intel升级20nm工艺新建晶圆厂破例参观-存储专区

Intel升级20nm工艺新建晶圆厂破例参观

作者：转载自网络编辑：李隽 2010-11-12 00:00 来源：驱动之家

　　

光刻车间
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　　化学机械抛光(CMP)车间

光刻车间
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　　照明受限的光刻车间

光刻车间
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　　一块光刻掩膜，光刻过程简单的说就是将这块掩膜上图案“缩印”到晶圆上。

光刻车间
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　　光刻过程中的“校准”

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