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Intel升级20nm工艺 新建晶圆厂破例参观

  Intel、美光合资闪存制造企业IM Flash Technologies, LLC(IMFT)宣布已经开始试制25bn工艺NAND闪存芯片。除了纸面宣布外,他们实际上还邀请了多家媒体到IMFT位于美国犹他州Lehi的25nm工艺晶圆厂进行参观。

参观犹他州Lehi晶圆厂

  位于雪山脚下的IMFT工厂

参观犹他州Lehi晶圆厂

  工厂结构,制造半导体产品最关键的无尘室位于第三层,加压吊顶形成由上向下的气流,设备维护工作则在二层的“SubFab”层完成。

参观犹他州Lehi晶圆厂

  进入无尘室之前的“打包”过程。(由于无尘室内部的严格要求,实际上以下内部照片均来自IMFT官方)

参观犹他州Lehi晶圆厂

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