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Intel升级20nm工艺 新建晶圆厂破例参观

  【IT168 资讯】Intel公司今天宣布,将在美国境内投资60到80亿美元,升级半导体制造技术,并在俄勒冈州兴建一座新的晶圆厂。

  根据该计划,Intel将在美国俄勒冈州建立名为Fab D1X的新晶圆厂,预计该厂将于2013年投入研发工作,具体投产日期还未确定。同时,Intel位于美国亚利桑那州的Fab 12、Fab 32,以及位于俄勒冈州的Fab D1C和Fab D1D也将借助这笔投资,升级到22nm制程工艺。预计该项投资将能够制造6000到8000个建筑工业岗位,并在完成后再制造800到1000个永久性高技术工作岗位。

  Intel表示,目前公司制造处理器的速度相当于每秒钟100亿个晶体管。但相比PC行业今年达到的每天100万台的销售速度,其产能仍然无法满足需求,因此需要进一步的投资来升级技术,扩充产能。据称,新的Fab D1X未来将有能力升级制造450mm晶圆,相比目前最大的300mm晶圆进一步提高产量降低成本。不过,该升级计划目前还没有具体时间表。

  根据Intel的“Tick-Tock”技术升级路线图,下一个“Tick”将是代号为Ivy Bridge的22nm工艺产品。预计该系列处理器将于2011年下半年投产,2012年初零售上市,此次四座工厂的制程升级很可能就是为这次换代做准备。

Intel新晶圆厂Fab D1X

  Fab D1X设计图,位于美国俄勒冈州Hillsboro,Intel Ronler Acres 园区

  

Fab D1C,Fab D1D,Fab 32

  Fab D1C,位于美国俄勒冈州Hillsboro

Fab D1C,Fab D1D,Fab 32

  Fab D1D,位于美国俄勒冈州Hillsboro

Fab D1C,Fab D1D,Fab 32

Fab D1C,Fab D1D,Fab 32

  Fab 32,位于美国亚利桑那州Chandler

Fab D1C,Fab D1D,Fab 32

  Intel、美光合资闪存制造企业IM Flash Technologies, LLC(IMFT)宣布已经开始试制25bn工艺NAND闪存芯片。除了纸面宣布外,他们实际上还邀请了多家媒体到IMFT位于美国犹他州Lehi的25nm工艺晶圆厂进行参观。

参观犹他州Lehi晶圆厂

  位于雪山脚下的IMFT工厂

参观犹他州Lehi晶圆厂

  工厂结构,制造半导体产品最关键的无尘室位于第三层,加压吊顶形成由上向下的气流,设备维护工作则在二层的“SubFab”层完成。

参观犹他州Lehi晶圆厂

  进入无尘室之前的“打包”过程。(由于无尘室内部的严格要求,实际上以下内部照片均来自IMFT官方)

参观犹他州Lehi晶圆厂

  晶圆厂内走廊,顶端的自动运输系统(AMHS)正在以每小时13公里的速度将晶圆在各个制造环节间运输,24小时不停歇。每个运载器都打在了一个FOUP(前端开口片盒),其中可装载最多25片300mm晶圆。

24小时不停歇

  厂内地面全部打孔,保证空气从上向下流通,将落尘可能减到最小。

24小时不停歇

  FOUP片盒挂接在一个制造阶段设备上,后面的那个正在被AMHS吊起。

24小时不停歇

24小时不停歇

  几乎所有制造过程均为自动完成,因此厂内大部分工人的工作就是保证这些设备正常运行。

  

光刻车间

  化学机械抛光(CMP)车间

光刻车间

  照明受限的光刻车间

光刻车间

  一块光刻掩膜,光刻过程简单的说就是将这块掩膜上图案“缩印”到晶圆上。

光刻车间

  光刻过程中的“校准”

  

记者手持晶圆

  实时缺陷监测(RDA)

记者手持晶圆

  FOUP片盒中的300mm晶圆

记者手持晶圆

  PCper记者手持一片25nm工艺300mm晶圆,总容量超过2TB。

  

300mm晶圆特写

300mm晶圆特写

  300mm晶圆

300mm晶圆特写

  每片闪存颗粒die容量为8GB(每格2GB),面积167平方毫米。

  

尺寸对比

  Intel副总裁,NAND闪存业务总经理Tom Rampone手持25nm颗粒

尺寸对比

尺寸对比

  尺寸对比

  

03-09历代晶圆展示

  从左到右分别是:

  2003年130nm工艺128MB,2005年90nm工艺512MB,2007年50nm工艺1GB,2009年34nm工艺4GB以及现在的25nm工艺8GB闪存。最右侧是标准的TSOP闪存封装尺寸。

  使用25nm工艺闪存,只需要单die芯片即可造出Class 10级SD卡。Intel计划,今年将基于该闪存造出最大600GB的固态硬盘,而美光甚至计划最大推出1TB SSD。

03-09历代晶圆展示

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